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石墨舟推舟系统

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石墨舟推舟系统

发布日期:2017-09-28 作者: mg4355电子娱乐 点击:

石墨舟推舟系统石墨舟推舟系统采用软着陆的方式,即将石墨舟放到反应管内部后,推舟机构将退出,自动门关上。载片舟是经特殊设计,在X轴、Y轴、Z轴三个方向可微调,再经精加工而成。它直接影响到电场的分布、等离子的产生、气流的走向、膜的品质。成膜压力甚至气体的流量都与此结构有关,所以推舟系统是本设备的核心部件。下面石墨棒厂家的小编就带领大家一起来了解一下这个问题的答案。

石墨棒厂家的小编提醒大家新的石墨舟入库后由设备人员负责开箱,并检验石墨舟的完好情况,发现损坏立即照相并通知物料部相关人员联系厂家。检验合格后给石墨舟编号,并建立使用档案 ,随后通知生产中心领取。具体使用方法见《管式PECVD 设备操作规程》。

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管式PECVD系统:石墨棒厂家的小编发现即使用像扩散炉管一样的石英管作为沉积腔室,使用电阻炉作为加热体,将一个可以放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。 记者在现场看到,ABB展示针对太阳能行业的一系列先进产品、技术和解决方案,包括工业机器人、低压产品、光伏产品以及可编程逻辑控制器。其中,专用于管式PECVD石墨舟取片/插片的ABB机器人自动工作站配备有ABB“全能冠军”之称的机器人IRB 1600,被广泛应用于太阳能管式PECVD工艺流程石墨舟的取片/插片。

石墨棒厂家的小编提醒大家石墨舟使用到一定的时间后各方面的性能都会发生下降,必须予以报废。具体的报废标准是:进口石墨舟暂定为18个月,国产石墨舟暂定为12个月。如果石墨舟到了规定的报 废时间没有产生色差和效率下降,经工艺设备人员检验确认后可以继续使用。如果石墨舟每个舟片都产生1片色差片,连续3舟都产生,可以予以隔离,做表面打磨处理。 


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